設(shè)立子基金的程序包括：（1）申請(qǐng)者向受托管理機(jī)構(gòu)提交子基金申請(qǐng)材料；（2）受托管理機(jī)構(gòu)受理申請(qǐng)、進(jìn)行初審、開展盡職調(diào)查、形成盡職調(diào)查報(bào)告和子基金設(shè)立方案并報(bào)引導(dǎo)基金理事會(huì)；（3）引導(dǎo)基金理事會(huì)審核受托管理機(jī)構(gòu)提交的材料，形成審核意見；（4）科技部根據(jù)引導(dǎo)基金理事會(huì)的審核意見，對(duì)子基金設(shè)立方案進(jìn)行合規(guī)性審查，對(duì)于符合設(shè)立條件的，商財(cái)政部同意，向社會(huì)公示無(wú)異議后，批準(zhǔn)出資設(shè)立子基金，并向社會(huì)公告；（5）受托管理機(jī)構(gòu)根據(jù)科技部、財(cái)政部的批準(zhǔn)文件辦理出資設(shè)立子基金的相關(guān)手續(xù)。
